特許
J-GLOBAL ID：200903014546539683
基板処理装置及び基板処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 水野 洋美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-136555
公開番号（公開出願番号）：特開2005-033178
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 基板載置部の上に基板を載置して、その温度を目標とするプロセス温度に安定させて所定の熱処理(加熱あるいは冷却)をする際において、高精度な熱処理を短時間で行うこと。【解決手段】 基板が基板載置部に載置されたときまたはその直前に、熱供給部に電力を供給する電力供給部に対して予め設定された出力パターンに基づいて、第1の電力指令値を出力すると共にその後第1の電力指令値よりも小さい第2の電力指令値を出力し、その後PID制御に切り換える構成とする。この場合、基板に熱を奪われて温度が低下した基板載置部の温度を素早く復帰させることができ、かつ速やかに温度を安定させることができる。またPID制御に切り替える前から積分要素及び微分要素を求めておき、PID制御に切り替えたときには、その値を用いてPID演算を行うことが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板をその表面に載置して所定の熱処理をする基板載置部と、電力供給部からの電力の供給により基板載置部に熱を供給する熱供給部と、を備えた基板処理装置において、
前記基板載置部の温度を検出する温度検出部と、
基板が基板載置部に載置されたときまたはその直前に、予め設定された出力パターンに基づいて、前記電力供給部に第1の電力指令値を出力すると共にその後第1の電力指令値よりも小さい第2の電力指令値を出力する固定パターン出力部と、
前記温度検出部の温度検出値と温度目標値との偏差に基づいて電力指令値を演算して出力する調節部と、
固定パターン出力部から予め設定された出力パターンに対応する第1の電力指令値及び第2の電力指令値が出力された後、固定パターン出力部から調節部に切り替える切り替え手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
3K058AA02
, 3K058AA04
, 3K058AA71
, 3K058AA86
, 3K058BA19
, 3K058CA12
, 3K058CA23
, 3K058CB15
, 3K058CB18
, 3K058CC09
, 5F046KA04
, 5F046KA10
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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