特許
J-GLOBAL ID：200903014626947740

レーザー加工品の製造方法、及びレーザー加工用粘着シート

発明者：
浦入 正勝

浦入 正勝 について

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高橋 智一

高橋 智一 について

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日野 敦司

日野 敦司 について

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松尾 直之

松尾 直之 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-219857
公開番号（公開出願番号）：特開2006-035277
出願日： 2004年07月28日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、高精度かつ高速で加工でき、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することができ、さらに加工後の被加工物を容易に回収することができるレーザー加工品の製造方法を提供する。【解決手段】 基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、前記粘着剤層は、芳香族炭化水素基含有化合物を含有しない粘着剤からなり、かつ吸光係数比(レーザー加工用粘着シートの紫外領域波長λにおける吸光係数/使用する被加工物1の紫外領域波長λにおける吸光係数)が1未満であるレーザー加工用粘着シート2を使用し、前記被加工物1のレーザー光出射面側に該レーザー加工用粘着シート2の粘着剤層を貼付する工程、レーザー光6を照射して被加工物9を加工する工程、及びレーザー加工用粘着シート2を加工後の被加工物1から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、前記粘着剤層は、芳香族炭化水素基含有化合物を含有しない粘着剤からなり、かつ吸光係数比(レーザー加工用粘着シートの紫外領域波長λにおける吸光係数/使用する被加工物の紫外領域波長λにおける吸光係数)が1未満であるレーザー加工用粘着シートを使用し、前記被加工物のレーザー光出射面側に該レーザー加工用粘着シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射して被加工物を加工する工程、及びレーザー加工用粘着シートを加工後の被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。
IPC (3件)：
B23K 26/18 ,  B23K 26/40 ,  H01L 21/301
FI (4件)：
B23K26/18 ,  B23K26/40 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 B
Fターム (11件)：
4E068AE01 ,  4E068CA04 ,  4E068CD11 ,  4E068CE03 ,  4E068CG01 ,  4E068CJ05 ,  4E068DA10 ,  4E068DA11 ,  4E068DB01 ,  4E068DB10 ,  4E068DB12
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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