特許
J-GLOBAL ID:200903014698777024
クライオスタット装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-383608
公開番号(公開出願番号):特開2004-205473
出願日: 2002年12月24日
公開日(公表日): 2004年07月22日
要約:
【課題】磁気光学特性の測定に使用されるクライオスタット装置において、光学窓を通過する測定光が電磁石より受ける磁気光学的影響を軽減し、より精度の高い磁気光学的特性の測定が可能なクライオスタット装置を提供すること。【解決手段】このクライオスタット装置は、光ビーム通過用の側壁孔17が設けられたクライオスタットと、クライオスタット内部に取り付けられた測定試料10をその膜面に対して垂直な方向に磁化する磁極対を有する電磁石16とを備え、電磁石の磁極対の一方には貫通する光路18が測定試料の膜面に対して垂直な方向に設けられ、光路の一端がクライオスタットの側壁孔に接合され、光路の所定位置に光学窓26が設けられ、側壁孔から光学窓までの光路は、クライオスタットの側壁孔を介して、クライオスタットの真空が保持されている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
光ビーム通過用の側壁孔が設けられたクライオスタットと、前記クライオスタット内部に取り付けられた測定試料をその膜面に対して垂直に磁化する磁極対を有する電磁石とを備え、前記電磁石の磁極対の一方には貫通する光路が、前記測定試料の膜面に対して垂直な方向に設けられ、前記光路の一端が前記クライオスタットの側壁孔に接合され、前記光路の所定位置に光学窓が設けられ、側壁孔から光学窓までの光路は、前記クライオスタットの側壁孔を介して、クライオスタットの真空が保持されていることを特徴とするクライオスタット装置。
IPC (3件):
G01N21/01
, F25D3/10
, G01N21/21
FI (3件):
G01N21/01 C
, F25D3/10 E
, G01N21/21 A
Fターム (15件):
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059DD18
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059FF05
, 2G059GG04
, 2G059LL01
, 3L044AA04
, 3L044BA08
, 3L044CA11
, 3L044CA17
, 3L044DB03
, 3L044FA08
, 3L044KA04
引用特許:
出願人引用 (7件)
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特公昭40-022351
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クライオスタット及びその使用方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-311411
出願人:住友金属工業株式会社
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光-磁気光学効果測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-264510
出願人:トヨタ自動車株式会社, 学校法人トヨタ学園, 株式会社トヨタマックス
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光-磁気光学効果測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-264509
出願人:トヨタ自動車株式会社, 学校法人トヨタ学園, 株式会社トヨタマックス
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半導体製造方法および装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-125593
出願人:株式会社日立製作所
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特開昭63-130772
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光-磁気光学効果測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-096887
出願人:トヨタ自動車株式会社, 学校法人トヨタ学園
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審査官引用 (2件)
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