特許
J-GLOBAL ID：200903014754473041

欠陥検査装置

発明者：
米澤 栄二

米澤 栄二 について


出願人/特許権者：
株式会社ニデック

株式会社ニデック について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-203067
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014057
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 マスタ画像を使用することなく、高速な検査を可能とする。【解決手段】 撮像画像に対して繰返しパターン寸法又は露光ショット寸法に基づいて定められたサイズの画像の平均輝度値を求め、該平均輝度値と予め定められた検査条件とに基づいて欠陥を検査する。第1欠陥検査は、撮像画像をサイズ変換し、該画像を所定サイズで平均化処理して欠陥を検査する。第2欠陥検査は、ショット毎の画像を加算平均した平均ショット画像を作成し、該平均ショット画像の四隅を所定サイズで切り出し、対角位置の平均輝度差によって欠陥を検査する。第3欠陥検査は、平均ショット画像を所定サイズで平均化処理した上で、輝度の標準偏差を計算して欠陥を検査する。
請求項（抜粋）：
繰返しパターンが形成された被検物表面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、検査対象面を撮像する撮像手段を持つ撮像光学系と、前記撮像手段により得られた撮像画像に対して繰返しパターン寸法又は露光ショット寸法に基づいて定められたサイズの画像の平均輝度値を求め、該平均輝度値と予め定められた検査条件とに基づいて欠陥を検査する欠陥検査手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305
FI (3件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 A
Fターム (34件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EC03 ,  2G051ED05 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA17 ,  5B057CD10 ,  5B057CE09 ,  5B057CH08 ,  5B057DA03 ,  5B057DC22 ,  5B057DC23
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM