研磨砥粒及び研磨具

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：園田敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-057101
公開番号（公開出願番号）：特開2004-261945
出願日： 2003年03月04日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】機械的除去作用の強い第1の酸化物粒子とケミカル作用の強い第2の酸化物粒子を有する2種類以上の微細な酸化物粒子を混合して複合粒子を形成した砥粒の研磨特性に着目して、ナノメータオーダの優れた加工面品位を損なうことなく、従来よりさらに高研磨能率を実現できる砥粒を提供することであり、また安価でかつ簡単に製造できる研磨具およびその製造方法を提供する。【解決手段】多数の一次粒子11,12が凝集して形成された二次粒子が一次粒子同士の結合点にネックが形成される温度で加熱処理して得た、多数の一次粒子11,12が部分的に、かつ、その間に空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体からなる砥粒であって、一次粒子は加工物に対して、それぞれ機械的除去作用の強い第1の酸化物粒子とケミカル作用の強い第2の酸化物粒子を有する2種類以上の酸化物粒子を同時に用いた複合粒子である砥粒1。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

多数の一次粒子が凝集して形成された二次粒子が一次粒子同士の結合点にネックが形成される温度で加熱処理して得た砥粒であり、その多数の一次粒子が部分的に、かつ、その間に空隙が形成されている状態で結合している粒状の多孔質体からなる砥粒であって、上記一次粒子は加工物に対して、それぞれ機械的除去作用の強い第1の酸化物粒子とケミカル作用の強い第2の酸化物粒子を有する2種類以上の酸化物粒子を同時に用いた複合粒子であることを特徴とする砥粒。

IPC (1件)：

B24D3/00

FI (4件)：

B24D3/00 330B , B24D3/00 310B , B24D3/00 320A , B24D3/00 330G

Fターム (11件)：

3C063AB07 , 3C063BB01 , 3C063BB14 , 3C063BB19 , 3C063BB24 , 3C063BG08 , 3C063CC01 , 3C063CC02 , 3C063EE15 , 3C063FF23 , 3C063FF30

引用特許：

審査官引用 (5件)

ガラス上に光学的品質の表面を形成する方法および製品
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-530180 出願人：ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチャリング・カンパニー
研磨剤
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-169006 出願人：東レ株式会社
研磨具及び研磨具の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-197188 出願人：株式会社リコー

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