特許

J-GLOBAL ID：200903034827667754

感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ

発明者： 西村 功 ,  竹内 信弘 ,  西村 秀樹 ,  丹羽 一明
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091877
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287351
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 高い感放射線感度と十分な現像マージンを有し、しかも、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる、層間絶縁膜やマイクロレンズの形成に適する感放射線性樹脂組成物、その組成物の層間絶縁膜およびマイクロレンズ形成への使用、およびその組成物から形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供すること。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)水酸基含有不飽和化合物、及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに [B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。層間絶縁膜およびマイクロレンズは上記組成物の使用により形成される。

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)水酸基含有不飽和化合物、及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジアジド化合物が含有されていることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/032 501 ,  C08J 5/00 CER ,  C08J 5/18 CER ,  C08K 5/28 ,  C08L 33/00 ,  C08L 35/00 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/022

FI (8件)：

G03F 7/032 501 ,  C08J 5/00 CER ,  C08J 5/18 CER ,  C08K 5/28 ,  C08L 33/00 ,  C08L 35/00 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/022

Fターム (33件)：

2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  4F071AA14X ,  4F071AA22X ,  4F071AA32X ,  4F071AA33X ,  4F071AF30 ,  4F071AF31 ,  4F071AF39 ,  4F071AH16 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BB12 ,  4F071BC01 ,  4F071BC03 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002CD191 ,  4J002EQ036 ,  4J002FD146 ,  4J002GP01 ,  4J002HA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-211735   出願人：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-027211   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-327699   出願人：東京応化工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-065454   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物およびその層間絶縁膜への使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-157463   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズへの使用、並びに層間絶縁膜およびマイクロレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-135912   出願人：ジェイエスアール株式会社