特許

J-GLOBAL ID：200903015125780698

平面エアブリッジMEMSスイッチ

発明者： アルヴィン・エム・コング ,  ロバート・ビー・ストウクス ,  ジョセフ・ピー・トリエウ ,  ラヒル・ユー・ブホラニア ,  マイケル・ディー・ランマート
出願人/特許権者： ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212323
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084884
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 多数のストロークを含み、単一のメタライゼーション層のみを利用して製造可能なRFスイッチ、およびRFスイッチの製造方法を提供する。【解決手段】 本発明によるスイッチは、1つ以上の金属トレースに隣接して配置されているエアーブリッジ懸垂ビーム24を含む。エアブリッジ懸垂ビームに隣接して、1つ以上の制御パッドを26,28配置し、スイッチを静電的に動作させる。懸垂ビームならびに金属トレースおよび接点パッドは全て、単一のメタライゼーション層によって製作する。スイッチは、ビームの撓みが基板の面に対してほぼ平行な面内で生ずるように構成されている。多数のメタライゼーション層を不要とすることによって、スイッチ製造の複雑性が大幅に緩和する。更に、このスイッチ構成により、単一のメタライゼーション・レベルを用いて、多投多極も可能となる。

請求項（抜粋）：

RFスイッチであって、1つの第1RF端子を規定するエアーブリッジ・ビームとして形成された基板と、前記基板上において、前記ビームに隣接して形成され、1つ以上の第2RF端子を規定する1つ以上の金属トレースと、を備え、前記ビームが、前記基板とほぼ平行な面において前記1つ以上の金属トレースに向かって偏倚するように構成されている、RFスイッチ。

IPC (5件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 11/00 ,  H01H 49/00 ,  H01P 1/15

FI (5件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 11/00 A ,  H01H 49/00 L ,  H01P 1/15

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 微細電気機械スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-082436   出願人：ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
• 光作動微小機械光子スイッチを備える物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-255876   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド
• 可動片ブロック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-286647   出願人：オムロン株式会社
• マイクロ電気機械システムスイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-194082   出願人：ティアールダブリューインコーポレイテッド
• 熱アーチ状ビームマイクロ電子機械装置および関連の製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-513300   出願人：クロノス・インテグレイテッド・マイクロシステムズ,インコーポレイテッド