プレーナ型アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：笹島富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-354021
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162949
出願日： 2004年12月07日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】プレーナ型アクチュエータの可動部温度を一定に制御して、反射ミラーの反りを抑制することを目的とする。【解決手段】トーションバーで軸支され駆動コイルの通電量に応じた振れ角で回動する可動部13に発熱コイル16を設け、温度検出部21で可動部13の温度を検出し、可動部13の反り量が略零となる予め定めた目標温度と検出温度を比較し、可動部温度が目標温度になるよう制御部22により発熱コイル16の通電量を制御する。これにより、可動部13に設けた駆動コイルの電流量変化により駆動コイルの発熱量が変化しても可動部13の温度を常時目標温度に維持でき、可動部13の反り量を略零にできる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

可動部と、該可動部を固定部に対して回動可能に軸支するトーションバーと、前記可動部を前記トーションバーの軸回りに駆動する駆動手段と、前記可動部に設けられた反射ミラーとを備えたプレーナ型アクチュエータにおいて、前記可動部の温度を予め定めた目標温度になるよう制御する温度制御手段を備える構成としたプレーナ型アクチュエータ。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , H04N 1/036 , B41J 2/44

FI (3件)：

G02B26/10 104Z , H04N1/036 Z , B41J3/00 M

Fターム (15件)：

2C362AA46 , 2C362BA17 , 2C362BA18 , 2C362DA31 , 2C362DA32 , 2H045AB16 , 2H045AB48 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DB07 , 5C051DB24 , 5C051DB30 , 5C051DB34 , 5C051DC01 , 5C051DC07

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2722314号公報
ガルバノマイクロミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-183253 出願人：富士通株式会社

審査官引用 (8件)

特開平3-236016
光偏向装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-261467 出願人：ミノルタ株式会社
特開昭62-028264

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