特許
J-GLOBAL ID：200903015236705164

光の透過測定による試料の平坦度と複素誘電率測定装置及び測定法

発明者：
川手 悦男

川手 悦男 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-391201
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156188
出願日： 2003年11月20日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 試料の透過スペクトルを測定することで、基板の平坦度と薄膜の複素誘電率の両方を測定できる光学系を実現する。【解決手段】 平行平板状の基板の透過スペクトルは、フリンジのピーク周波数では入射角度に依らず、透過率は一定で最大値をとるが、その周辺周波数では、入射角度を増加させると透過率はゼロに近づく。この基板に薄膜を載せて厚さを増加させると、フリンジのピーク周波数は低周波側にずれる。これら3つの効果のために、高入射角度で基板のみの透過スペクトルに対する基板と薄膜からなる系の透過スペクトルの比のスペクトルは、最大値と最小値が隣接した構造のスペクトルになり、薄膜の複素誘電率が求まる。さらに、基板上で光の照射位置を移動させながら同様の測定をして、基準位置の透過スペクトルとの比のスペクトルに前述の構造が表れれば、そのスペクトルから基板の平坦度が求まる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
誘電率測定装置において、試料に光を照射し、該光が該試料を透過した透過光を測定し、該透過光のスペクトルに基づいて該試料の平坦度及び複素誘電率を求めることを特徴とする誘電率測定装置。
IPC (3件)：
G01N21/35 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66
FI (3件)：
G01N21/35 Z ,  G01B11/30 101A ,  H01L21/66 L
Fターム (39件)：
2F065AA47 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF49 ,  2F065GG01 ,  2F065HH03 ,  2F065HH08 ,  2F065HH12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL67 ,  2F065NN08 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ26 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG04 ,  2G059GG06 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ24 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA06 ,  4M106CA19 ,  4M106CA21 ,  4M106CA24 ,  4M106CB30
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (1件)
  • 撮像装置及び方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-563888   出願人：テラビューリミテッド
引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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