特許
J-GLOBAL ID：200903015554065727
感温感歪複合センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-074937
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221696
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】従来の歪及び温度を同時に検知するセンサは、感度が悪い、誤差が大きい、補償回路を必要とするなどの問題があった。本発明は、高感度で誤差が少なく、補償回路を必要とせずに歪及び温度を同時に検知可能とするセンサを提供するにある。【解決手段】本発明は、温度感度が大きく歪感度(又は圧力感度)が小さい温度検知用薄膜、及び歪感度(又は圧力感度)が大きく温度感度が小さい歪検知用薄膜という、大きく異なる特徴を持つ二つの薄膜抵抗体を、並列構造あるいは積層構造をなして構成することにより、補償回路を用いずに温度及び歪(又は圧力)を同時に検出することが可能な複合型センサを提供することができる。
請求項（抜粋）：
導電性基板上に絶縁性膜を形成し、さらに当該絶縁性膜上に又は絶縁性基板上に温度センサ材料及び歪センサ材料を成膜してなり、歪による温度測定誤差が0.5K以内で、かつ温度による歪量測定誤差百分率が50%以内の精度で温度及び歪を同時に検出することを特徴とする感温感歪複合センサ。
IPC (5件)：
G01K 7/18
, G01B 7/16
, G01L 3/10
, G01L 9/04
, G01P 15/12
G01K 7/18 B
, G01L 3/10 C
, G01L 9/04
, G01P 15/12
, G01B 7/18 G
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC01
, 2F055DD20
, 2F055EE11
, 2F055FF02
, 2F055GG01
, 2F055GG32
, 2F063AA28
, 2F063AA50
, 2F063CA34
, 2F063CB01
, 2F063CC09
, 2F063DA02
, 2F063DD05
, 2F063EC03
, 2F063EC05
, 2F063EC06
, 2F063EC14
, 2F063EC15
, 2F063EC20
, 2F063EC27
