特許
J-GLOBAL ID:200903015660860994

軟磁性合金膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉田 研二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-084766
公開番号(公開出願番号):特開平11-283831
出願日: 1998年03月30日
公開日(公表日): 1999年10月15日
要約:
【要約】【課題】 低保磁力で高比抵抗の特性を備えつつ3〜4GHz付近の高周波領域での使用が可能な軟磁性膜の提供。【解決手段】 y、z、a、bを原子数とする場合に、元素T、元素A、元素M及び元素Dが、TyAzMaDbの組成を有する軟磁性合金膜であり、前記元素Tは、Co又はFe又はFeCo合金を含み、元素Aは、Ru、Os、Rh、Ir、Cu、Ag或いはAuのうちの少なくとも一種類あるいは二種類以上を含み、元素Mは、Cr、Mn、Y、Alあるいは希土類元素のうちの少なくとも一種類あるいは二種類以上を含み、元素DはOである。また、元素Mと元素Dとの化合物と元素Aとの混合相が、元素Tを含む強磁性微結晶の間隙を満たす。元素Aを含むことで、飽和磁化Ms及び異方性磁界Hkが高まり、自然共鳴周波数frの向上が図られる。
請求項(抜粋):
y、z、a、bを原子数とする場合に、元素T、元素A、元素M及び元素Dが、TyAzMaDbの組成を有する軟磁性合金膜であり、前記元素Tは、Co又はFe又はFeCo合金を含み、前記元素Aは、Ru、Os、Rh、Ir、Cu、Ag或いはAuのうちの少なくとも一種類あるいは二種類以上を含み、前記元素Mは、Cr、Mn、Y、Alあるいは希土類元素のうちの少なくとも一種類あるいは二種類以上を含み、前記元素Dは、Oであり、前記元素Mと元素Dとの化合物と前記元素Aとの混合相が、前記元素Tを含む強磁性微結晶の間隙を満たしている軟磁性合金膜。
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 磁性薄膜
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-210015   出願人:キヤノン株式会社
  • 磁気ヘッドの製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-138855   出願人:ソニー株式会社
  • 磁気検出素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-086553   出願人:キヤノン電子株式会社
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