感光性組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-156962
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003169
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】短波長、特にArFエキシマレーザ光の193nmの深紫外線に対して高い感度を有し、解像性に優れるとともに、十分なドライエッチング耐性を備え、かつクラックの発生や基板からの剥離が起こらないレジストパターンを形成し得るアルカリ現像用感光性組成物を提供する。【解決手段】極性基が導入された脂環式構造を側鎖に有する高分子化合物を含有することを特徴とする。かかる高分子化合物は、酸分解性基を側鎖に有する構造単位との共重合体とし、化学放射線の照射により酸を発生する化合物を配合して化学増幅型レジストとして使用することができる。

請求項（抜粋）：

OH基、NO2 基のうちから選ばれた少なくとも1種の置換基が導入された脂環式構造、または2個のO原子が結合しているS原子が導入された複素環式構造を側鎖に有する高分子化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 , C08L101/00 LTB , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027 , C08L 33/04 LJH , C09D133/04 PFY

FI (7件)：

G03F 7/039 501 , C08L101/00 LTB , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , C08L 33/04 LJH , C09D133/04 PFY , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (6件)

ビニル基を含有する単量体及びその重合体及びそれを用いた感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280695 出願人：日本電気株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287820 出願人：株式会社東芝
レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-285187 出願人：日本ゼオン株式会社

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