特許
J-GLOBAL ID：200903015898320734
電子源アレイ及びその製造方法並びに電子源アレイの駆動方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-101966
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 高精度なパターニング技術を用いずに、非常に微細なエミッタを均一に形成し、更にX-Yマトリクス駆動が可能な電子源アレイを提供する。【解決手段】 絶縁性の基板1上にライン状に配置されたカソード電極配線2と、絶縁性膜4を挟んで対向配置されたゲート電極配線7とを具備する電子源アレイであって、前記カソード電極配線2と前記ゲート電極配線7の交差部分に、絶縁性膜4中に貫通して形成された細孔5を具備し、該細孔5中に導電性材料または半導体材料が充填され、かつ該材料が前記カソード電極配線2と電気的に接続されており、前記ゲート電極配線7とは空間を隔てて形成されている構造である。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上にライン状に配置されたカソード電極と、絶縁性膜を挟んで対向配置されたゲート電極とを具備する電子源アレイであって、前記カソード電極と前記ゲート電極の交差部分に、絶縁性膜中に貫通して形成された細孔を具備し、該細孔中に導電性材料または半導体材料が充填され、かつ該材料が前記カソード電極と電気的に接続されており、前記ゲート電極とは空間を隔てて形成されていることを特徴とする電子源アレイ。
IPC (6件)：
H01J 1/304
, G09G 3/20 680
, G09G 3/22
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
G09G 3/20 680 H
, G09G 3/22 E
, H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
