使用済み研磨材スラリーを処理し、それらの再使用可能な成分を回収するための方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 浅野裕一郎 , 安藤克則
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-517703
公開番号（公開出願番号）：特表2008-546548
出願日： 2006年06月16日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：

珪素、石英、又はセラミックスの結晶質材料をスライスするのに用いられる研磨材スラリーが望ましくない廃棄物に富む使用済みのものになった時、それから再使用可能な成分を完全に回収する方法。その方法は、そのような使用済みスラリーを、直列に接続されたハイドロサイクロン又は遠心分離機の連続体で行われる、初期遠心分離及びその遠心分離から得られた研磨材粒子を含むフラクションを湿式粒径分類処理することからなる。研磨材粒子を回収及び精製する領域は、一つの加圧容器内で全ての必要な操作を行なう多機能性装置を含む。その方法は、使用済みスラリーに含まれる再使用可能な研磨材粒子のみならず、研磨材スラリーの懸濁用又は切断用液体を製造工程の両方の成分を再使用するために完全に回収出来るようにしている。本発明は、記載の方法に従って使用済み研磨材スラリーの処理を行なう装置にも関する。

請求項（抜粋）：

懸濁用液体、再使用可能な研磨材粒子、微細研磨材粒子、微細珪素粒子、及び微細金属粒子を含む使用済み研磨材スラリーを処理するための方法において、次の工程: a) 使用済みスラリーを湿式粒径分類処理によりi)懸濁用液体と液体溶媒との混合物中に再使用可能な研磨材粒子を含む液体懸濁物及びii)微細珪素粒子及び微細金属粒子と同様、微細研磨材粒子を含む同じ混合物中の液体懸濁物に分離する工程; b) 液体溶媒蒸留と組合せた固・液分離処理により、前記微細粒子及び粒子を含む前記液体懸濁物から懸濁用液体を回収する工程; とを含み、前記工程a)の湿式粒径分類処理を、固・液遠心分離機中で前記混合物を処理することにより行ない、その分離機が今度は、得られた固体含有フラクションを、直列に接続された少なくとも二つのハイドロサイクロン又は少なくとも二つの遠心分離機の連続体へ送り、そこには、懸濁用液体を回収する前記工程b)から得られた清澄化液体の一部分を含む液体フラクションが向流状に供給され、それにより前記連続体の最後のサイクロン又は最後の遠心分離機の下方流から再使用可能な研磨材粒子を含む液体懸濁物を得、然も、その懸濁物は微細研磨材粒子を実質的に含まないことを特徴とする、使用済み研磨材スラリー処理方法。

IPC (2件)：

B24B 57/02 , H01L 21/304

FI (2件)：

B24B57/02 , H01L21/304 622E

Fターム (4件)：

3C047FF08 , 3C047GG14 , 3C047GG15 , 3C047GG17

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-315576
スラリ再生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-151208 出願人：シャープ株式会社
ラップ砥粒スラリーの再生方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-035522 出願人：石川島汎用機サービス株式会社

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