特許
J-GLOBAL ID：200903016239304981

面取り装置

発明者：
遠藤 仁志

遠藤 仁志 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-302009
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103190
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板の面取り状態をリアルタイムで把握し、品質管理の向上を図ることのできる面取り装置を提供する。【解決手段】 面取り装置には、ガラス基板を面取りするための砥石・モータ9と砥石XYロボットとが設けられている。砥石9によってガラス基板を面取りする際に発生する弾性波を検知するためのAEセンサ10が設けられている。AEセンサ10によって検知された弾性波を所定の電気信号として制御部17に送られる。その弾性波のデータとあらかじめ記憶されているガラス基板の面取り状態とそれに対応する弾性波のデータとを比較することで、面取りが施されたガラス基板の面取りの状態が良好であるか否かが判定される。
請求項（抜粋）：
基板を面取りするための面取り部を有する面取り装置であって、前記面取り部における前記基板の面取り状態を検知するためのセンサと、前記センサによって検知されたデータに基づいて、前記基板の面取りの状態を把握するための制御部とを備えた、面取り装置。
IPC (2件)：
B24B 9/00 601 ,  B24B 9/08
FI (2件)：
B24B 9/00 601 Z ,  B24B 9/08 Z
Fターム (6件)：
3C049AA03 ,  3C049AC02 ,  3C049BC03 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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