特許
J-GLOBAL ID：200903016335484478
気相成長方法及びこれに用いられるウエハー搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-343203
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189457
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 気相成長の際、反応ガスをチャンバーに流入させるときの気流によって、チャンバー内壁の付着物が剥がれ落ち、ウエハー表面に付着するという問題があった。【解決手段】 気相成長工程前に予め、気相成長用チャンバー内1に気相成長時と同量の無反応ガス13を流入させる第1の工程と、搬送室3からウエハー2を気相成長用チャンバー1内に搬送する第2の工程と、無反応ガス13を反応ガスに切り替えて、気相成長を行うことを特徴とする。また、気相成長方法に使用されるウエハー搬送装置として、ウエハー2またはウエハー保持体11に接触するためのアーム9と、このアーム9に固定され搬送室3側からウエハー2またはウエハー保持体11の搬送を行うための搬送棒8とを備え、アーム9の上部にウエハ2ー表面をカバーするダストカバー10を設けてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
気相成長用チャンバーと該気相成長用チャンバーに付設された搬送室とを備え、前記搬送室からウエハーまたはウエハー保持体を前記気相成長用チャンバー内に搬送する工程を有する気相成長方法において、気相成長工程前に予め、前記気相成長用チャンバー内に気相成長時と同量の無反応ガスを流入させる第1の工程と、該第1の工程後、前記搬送室からウエハーまたはウエハー保持体を前記気相成長用チャンバー内に搬送する第2の工程と、該第2の工程後、前記無反応ガスを反応ガスに切り替えて、気相成長を行うことを特徴とする気相成長方法。
IPC (6件)：
H01L 21/205
, B65G 49/07
, C23C 14/56
, C23C 16/44
, C30B 35/00
, H01L 21/68
H01L 21/205
, B65G 49/07 E
, C23C 14/56 G
, C23C 16/44 D
, C30B 35/00
, H01L 21/68 A
