特許
J-GLOBAL ID：200903016783398949
プロ-ブ顕微鏡における試料表面のイメ-ジ作成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
福田 武通 (外3名)
, 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284630
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146809
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 非接触で安定した状態で制御を行い、試料表面の凹凸等のイメージ作成を再現性良く高精度に行えるようにする。【解決手段】 カンチレバー1のチップ11に1nm以下の振動を与え、チップ11と試料10との相互作用の引力領域においてその力勾配が負の一定値となるように、チップ11と試料10との間の距離をフィードバック制御するとともに、試料10表面上でチップ11を走査し、そのときのフィードバック制御信号を用いて試料10表面のイメージを作成する、ことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
カンチレバーのチップに1nm以下の振動を与え、チップと試料との相互作用の引力領域においてその力勾配が負の一定値となるように、チップと試料との間の距離をフィードバック制御するとともに、試料表面上でチップを走査し、そのときのフィードバック制御信号を用いて試料表面のイメージを作成する、ことを特徴とするプローブ顕微鏡における試料表面のイメージ作成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/16 A
, G01B 21/30 Z
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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