赤外顕微鏡及びその測定位置確定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-396524
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156385
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】試料観測位置とATR法で実際に測定する試料測定位置とのずれをなくす。【解決手段】記憶部52はプリズム60を介さない観測モードでの試料観測位置と、ATR測定モードでの試料測定位置とのずれ量を記憶しており、ステージ移動制御部50は、ATR測定モード時には試料観測位置と試料測定位置とが一致するように記憶部52に記憶されているずれ量だけ試料ステージ12を移動させるように、試料ステージ12の移動を制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プリズムを試料ステージ上の試料に接触させ、赤外光を前記プリズムを介して試料表面に向けて全反射臨界角以上の入射角で照射して、試料表面で反射された赤外光の吸収スペクトルを測定するATR測定モードをもつ赤外顕微鏡において、前記プリズムを介さない観測モードで、プリズムの空間分解能よりも幅の小さい線状試料を観測し、前記線状試料が観察視野中心を横切るように試料ステージを位置決めしたときの試料ステージの座標と、その状態から試料を90°回転させ、再び前記線状試料が観察視野中心を横切るように試料ステージを位置決めしたときの試料ステーの座標とから試料観測位置座標を求めるステップと、 ATR測定モードで前記線状試料を測定し、前記線状試料をその幅方向に走査して線状試料が検出されたときの試料ステージの座標と、その状態から試料を90°回転させ、再び前記線状試料をその幅方向に走査して線状試料が検出されたときの試料ステージの座標とからATR測定モードでの試料の測定位置座標を求めるステップとを備えて、試料の測定位置を確定する方法。

IPC (1件)：

G01N21/27

FI (2件)：

G01N21/27 C , G01N21/27 E

Fターム (15件)：

2G059AA05 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059FF03 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ22 , 2G059MM10

引用特許：

出願人引用 (1件)

赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133106 出願人：株式会社島津製作所

審査官引用 (8件)

特開平4-065656
特許第3381777号
赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133106 出願人：株式会社島津製作所

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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