特許
J-GLOBAL ID：200903017222210114

欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム

発明者：
下平 真達

下平 真達 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-027143
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186338
出願日： 2008年02月07日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】複雑な形状を有する物体であっても、複数のエッジ点に対して適切な基準線を設定し、該基準線からの各エッジ点の差異に基づいてバリ、欠け等の欠陥を正確に検出することができる欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】検査対象となる物体の一部又は全ての輪郭線を含む画像から複数のエッジ点を検出する。所定の大きさの参照範囲内に存在する複数のエッジ点を代表する代表エッジ点を、参照範囲を順次移動させつつ、前記参照範囲の各移動位置にて算出する。算出された複数の代表エッジ点と対応するエッジ点との残差を算出し、算出された残差に基づいて欠陥の位置及び大きさを特定する。残差に重み付けをし、代表エッジ点を繰り返し算出して、擬似近似曲線(代表エッジ点列)を求める。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象となる物体の輪郭線を含む画像に基づいて欠陥を検出する欠陥検出装置において、 検査対象となる物体の一部又は全ての輪郭線を含む画像から複数のエッジ点を検出するエッジ点検出手段と、 予め定められた所定の幅の参照範囲内に存在する複数の前記エッジ点を代表する代表エッジ点を、前記参照範囲を順次移動させつつ、前記参照範囲の各移動位置にて算出する代表エッジ点算出手段と、 算出された複数の代表エッジ点と対応するエッジ点との残差を算出する残差算出手段と、 算出された残差に基づいて欠陥の位置及び大きさを特定する欠陥特定手段と を備えることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00
FI (4件)：
G01N21/88 J ,  G01B11/24 K ,  G01B11/30 A ,  G06T1/00 300
Fターム (41件)：
2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA21 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065BB08 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ41 ,  2F065SS13 ,  2G051AA13 ,  2G051AB03 ,  2G051AB05 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED21 ,  2G051FA01 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE08 ,  5B057CH18 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA16 ,  5B057DC16 ,  5B057DC22 ,  5B057DC36
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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