ガラスの切断分離方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、フラットパネルディスプレイ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野中誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-028776
公開番号（公開出願番号）：特開2005-219960
出願日： 2004年02月05日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】切断時におけるガラスカレットの発生、並びに切断分離面のクラック及びガラス割れが抑制され、短時間のエッチングによって切断分離することが可能な生産効率の優れたガラスの切断分離方法の提供。【解決手段】ガラス内部にレーザーを集光してガラス内部を変質させる工程の後、ガラスをエッチングする工程を経てガラスを切断分離する。このガラスは、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板に使用することができ、このガラス基板をフラットパネルディスプレイに使用することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：