真空ゲート弁及び真空装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-112570
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310335
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】複数の真空容器1,2間を連通又は連通遮断するように開閉する真空ゲート弁5について、開弁時にその内部を通過するワークWの温度低下を、簡単な構造により可及的に抑制する。【解決手段】開弁時に真空ゲート弁5の内部に区画されかつ真空容器1,2の各内部の真空空間同士を連通する連通路30の内壁面が、連通路30を通過するワークWから放射される輻射熱を反射する鏡面状の輻射熱反射面Aを有するようにする。

請求項（抜粋）：

複数の真空容器間を連通又は連通遮断するように開閉する真空ゲート弁であって、開弁時に真空容器間を搬送されるように内部を通過するワークに対向する周囲面に、該ワークから放射される輻射熱を反射する輻射熱反射面が設けられていることを特徴とする真空ゲート弁。

IPC (3件)：

F16K 51/00 , F16K 3/16 , F16K 51/02

FI (3件)：

F16K 51/00 E , F16K 3/16 , F16K 51/02 B

Fターム (10件)：

3H053AA03 , 3H053AA21 , 3H053BC03 , 3H053BD02 , 3H053CA06 , 3H053DA09 , 3H066AA03 , 3H066BA11 , 3H066BA36 , 3H066BA38

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-357376
高断熱弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-321009 出願人：エスエムシー株式会社
真空ゲート弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-059521 出願人：新明和工業株式会社

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