特許
J-GLOBAL ID：200903017690969071
応力成分測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西村 竜平
, 佐藤 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-171149
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116434
出願日： 2007年06月28日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】測定対象の破壊を伴わずに応力成分を短い時間で測定できる方法を提供することである。【解決手段】応力成分測定装置1が、既知の応力成分が作用している標準試料Wの所定領域W1から得られたラマンスペクトルLと前記応力成分とを比較する応力成分比較部413と、異なる所定領域W1に対して複数回行った前記応力成分比較部413での比較結果から多変量解析法によって前記ラマンスペクトルLと応力成分との相関を示す相関データを生成する相関データ生成部414と、前記相関データを格納する相関データ格納部41と、前記標準試料Wと組成が同じ測定試料W’の領域(以下測定領域と言う)W1’から得られたラマンスペクトルL及び前記相関データに基づいて、当該測定領域W1’に作用している応力成分を算出する応力成分算出部43と、を備えるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
既知の応力成分が作用している標準試料の所定領域(以下標準領域と言う)から得られたラマンスペクトルと前記応力成分とを比較する応力成分比較ステップと、
前記応力成分比較ステップを、互いに異なる応力成分が作用している複数の標準領域に対してそれぞれ行い、その結果から、多変量解析法によって前記ラマンスペクトルと応力成分との相関を示す相関データを生成する相関データ生成ステップと、
前記標準試料と組成が同じ測定試料の領域(以下測定領域と言う)から得られたラマンスペクトル及び前記相関データに基づいて、当該測定領域に作用している応力成分を算出する応力成分算出ステップと、
を備えていることを特徴とする応力成分測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (8件)
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特開平1-219529号公報
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収束電子回折法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-176809
出願人：日本電気株式会社
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半導体材料の応力測定方法及びその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-256929
出願人：株式会社堀場製作所
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審査官引用 (5件)
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