特許

J-GLOBAL ID：200903017734267142

電子顕微鏡装置

発明者： 大沼 満 ,  中村 邦康 ,  齋藤 浩一郎 ,  稲田 博実
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-206210
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034231
出願日： 2006年07月28日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】電子顕微鏡へのカバー部の取り付け作業を簡略化できるようにする。【解決手段】電子銃部2や鏡筒3からなる電子顕微鏡本体部1は架台筐体24上に載置されており、その周りがカバー部6で密閉上に囲まれている。カバー部6は、枠部29にパネルや開閉扉11a,11b,窓部14などが取り付けられたものであり、枠部29は、電子顕微鏡本体部1や架台筐体24の後部側を囲む後部枠体と前部側を囲む前部枠体とが連結されたものである。カバー部6の取り付けに際しては、まず、後部枠体が取り付けられ、位置決めジグ31a,31bと位置決めブロック32a,32bとにより、この後部枠体の架台筐体24に対する位置決めがなされ、位置決めされた後部枠体に前部枠体が取り付けられて枠体6が取り付けられる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

架台筐体上に電子顕微鏡本体部が載置され、該架台筐体とともに該電子顕微鏡本体部がカバー部で覆われた電子顕微鏡装置であって、 該カバー部は、組み立てられた枠体と該枠体に取り付けられたパネルとからなることを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (1件)：

H01J 37/16

FI (1件)：

H01J37/16

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 電子顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-320705   出願人：株式会社日立製作所
• 荷電粒子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-260400   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• クリーンカバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-307831   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 電子ビーム真空容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-176485   出願人：三菱重工業株式会社
• 光半導体の発光検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-015529   出願人：ローム株式会社