特許
J-GLOBAL ID：200903018003812474
近接場光顕微鏡用プローブとその製造方法および走査型近接場光顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239088
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304823
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 これまで、近接場光顕微鏡用プローブで、紫外域および赤外域の光学情報の光分解能の観察と形状像の観察、および、その他の物性情報の観察を同時に行え、安定に微小開口の形成が可能なものがなっかった。【解決手段】 チューブが熱的に折り曲げられた鈎状であり、先端部分に熱的に引き延ばし破断したチューブの微小開口部を有し、この微小開口に対して裏側となるチューブの一部が除去され、この除去部に開口が形成され、前記先端開口部の間の空間に遮へい物がない構造である近接場光顕微鏡用プローブを考案し、これを用いた近接場光顕微鏡を構成した。
請求項（抜粋）：
熱的に引き延ばし破断したチューブで、テーパー部と微小開口部を有し、この部分が、熱的に折り曲げられた鈎状部の先端部分として構成されているとともに、この微小開口に対して裏側となるチューブの一部が除去され、この除去部に開口が形成され、前記先端開口部の間の空間に遮へい物がない構造である近接場光顕微鏡用プローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G01B 21/30
G01N 37/00 E
, G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/30 Z
