特許
J-GLOBAL ID：200903042203587520
顕微鏡検査プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-506478
公開番号（公開出願番号）：特表平9-502018
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】ナノメータ寸法の表面微細構造及び他の特性を測定するための汎用の力センサは、中空のマイクロピペット(1.1)を含み、その先端にて約7.5ナノメータの内径を有する。プローブは、曲げるために先端付近を加熱することにより得られる片持ちはり構造を含む。反射コーティング(1.4)がさらにマイクロピペットの外表面に被われる。
請求項（抜粋）：
先端の直径が10ナノメータ以下まで引かれ、横方向の力センサとして使用可能であり、アルミニウムのような金属にて当該構造の外側をコーティングすることにより副波長光の点光源を生成するために同時に使用され、かつ、副波長で先端を通り光を通過させ又は光学的に又は電気的に剌激可能な適切な材料にて先端において副波長の光を生成し該光が光学的な顕微鏡検査及びリソグラフィーを走査する近視野に使用可能である、先細りのマイクロピペット又は光学的繊維のような構造からなる装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 11/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 E
, G01B 11/00 F
, H01J 37/28 Z
審査官引用 (19件)
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特開平4-291310
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微細表面観察装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-256817
出願人：セイコー電子工業株式会社, 藤平正道
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力検知手段を含む走査型顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-294894
出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
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引用文献：
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