特許
J-GLOBAL ID：200903018138221328

感光性樹脂組成物及び積層体

発明者：
姫田 優香理

姫田 優香理 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-211940
公開番号（公開出願番号）：特開2008-039978
出願日： 2006年08月03日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】中性〜アルカリ性のシアン浴での貴金属めっきに耐え、解像度、密着性、レジスト剥離性に優れた感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成する方法、及び該レジストパターンの用途を提供すること。【解決手段】(a)カルボキシル基含有バインダー:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)光重合開始剤:0.01〜30質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物であって、(a)カルボキシル基含有バインダーが、特定の共重合体を含有し、かつ(b)光重合可能なモノマーとして特定の化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基含有バインダー:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)光重合開始剤:0.01〜30質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物であって、 (a)カルボキシル基含有バインダーが、重量平均分子量が5,000〜500,000であって、少なくとも下記一般式(I)で表されるモノマー:10〜40質量%と、下記一般式(II)で表されるモノマー:10〜80質量%と、下記一般式(III)で表されるモノマー:10〜80質量%とを共重合した共重合体を含有し、かつ、 (b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマーが、下記一般式(IV)で表される化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (7件)：
G03F7/033 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 513 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D
Fターム (40件)：
2H025AA04 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC65 ,  2H025BC66 ,  2H025BC83 ,  2H025CA00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  5E339AB06 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CE11 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339EE04 ,  5E343AA33 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB34 ,  5E343BB44 ,  5E343BB45 ,  5E343BB48 ,  5E343BB49 ,  5E343CC63 ,  5E343DD32
引用特許：
出願人引用 (7件)
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