特許
J-GLOBAL ID：200903018292007126

測定方法、解析方法、測定装置、解析装置、エリプソメータ及びコンピュータプログラム

発明者：
ナバトバ-ガバイン,ナタリア

ナバトバ-ガバイン,ナタリア について

, 
和才 容子

和才 容子 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-069655
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257475
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 解析に要する時間と解析精度とをバランス良く両立させる。 【解決手段】 エリプソメータ1は試料Sのいずれかのポイントに対し第1分光器8及び第2分光器9で測定を行う。第1分光器8の測定結果を用いて解析を行うと共に第2分光器9の測定結果を用いて解析を行い、第2分光器9に係る解析結果を第1分光器8に係る解析結果へ近似する近似式を算出する。試料Sの残りのポイントに対しては、第2分光器9で測定を行い、その結果を用いた解析の結果を近似式に基づき補正する。第2分光器9は第1分光器8に比べて測定精度は低いが測定時間が短いため全体の測定時間は短くなり、また、第2分光器9に係る解析結果を補正するため解析精度は向上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の方式で測定することが可能な測定装置により被測定材の複数箇所に対して被測定材の物性を測定する測定方法であって、 被測定材のいずれかの箇所に対して測定を行う第1ステップと、 前記いずれかの箇所に対して前記第1ステップに係る測定に比べて短時間で測定することが可能な方式で測定を行う第2ステップと、 該第2ステップの測定結果を前記第1ステップの測定結果へ近似する近似式を算出する第3ステップと、 残りの箇所に対して前記第2ステップに係る方式で測定を行う第4ステップと、 該第4ステップの測定結果を前記近似式に基づき補正する第5ステップと を備えることを特徴とする測定方法。
IPC (6件)：
G01N21/17 ,  G01B11/02 ,  G01J3/02 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47
FI (6件)：
G01N21/17 A ,  G01B11/02 Z ,  G01J3/02 C ,  G01J3/447 ,  G01N21/21 Z ,  G01N21/47 Z
Fターム (73件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065FF50 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ24 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL33 ,  2F065LL42 ,  2F065LL57 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU04 ,  2F065UU05 ,  2G020AA04 ,  2G020BA05 ,  2G020BA18 ,  2G020CA15 ,  2G020CB32 ,  2G020CC04 ,  2G020CD04 ,  2G020CD23 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043EA15 ,  2G043GA25 ,  2G043GB28 ,  2G043JA04 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043NA01 ,  2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059CC01 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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