温度制御方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260316
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085339
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】目標設定温度の一部が、放射温度計による検出下限値を下回る場合にも、被加熱物の温度を精度良く制御することができる温度制御方法を提供する。【解決手段】放射温度計31の検出温度範囲(例えば、600°C〜1300°C)内で、且つその検出下限値の近傍に制御方式切替用温度を設定する(例えば、650°C)。放射温度計31で検出されたウエーハ10の温度が、この制御方式切替用温度以上の値のときには、放射温度計31の出力に基づいてヒータ21の出力のフィードバック制御を行う。一方、放射温度計31で検出されたウエーハ10の温度が、この制御方式切替用温度未満の値のときには、予め用意されたヒータ出力から被加熱物の温度を算出する推定モデルに基づいて、ヒータ出力の制御を行う。

請求項（抜粋）：

被加熱物の温度を放射温度計を用いて検出し、被加熱物の温度が予め設定された目標値に一致する様に、放射温度計の出力に基づいてヒータ出力の制御を行う温度制御方法において、前記放射温度計の検出温度範囲内で且つその検出下限値の近傍に制御方式切替用温度を設定し、前記放射温度計で検出された被加熱物の温度が、この制御方式切替用温度以上の値のときには、前記放射温度計の出力に基づいてヒータ出力のフィードバック制御を行い、前記放射温度計で検出された被加熱物の温度が、この制御方式切替用温度未満の値のときには、予め用意されたヒータ出力から被加熱物の温度を算出する推定式に基づいて、ヒータ出力の制御を行うことを特徴とする温度制御方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 , C30B 25/16 , G05D 23/19 , H05B 3/00 310

FI (4件)：

H01L 21/205 , C30B 25/16 , G05D 23/19 J , H05B 3/00 310 D

Fターム (36件)：

3K058AA86 , 3K058BA19 , 3K058CA70 , 3K058CA92 , 3K058CB23 , 4G077AA03 , 4G077BA04 , 4G077DB01 , 4G077EG16 , 4G077EH06 , 4G077TJ03 , 4G077TJ13 , 5F045EK22 , 5F045GB01 , 5F045GB05 , 5F045GB15 , 5H323AA40 , 5H323CA06 , 5H323CB02 , 5H323CB42 , 5H323EE05 , 5H323EE20 , 5H323FF01 , 5H323FF10 , 5H323GG15 , 5H323HH05 , 5H323HH09 , 5H323JJ04 , 5H323KK05 , 5H323LL01 , 5H323LL02 , 5H323LL12 , 5H323LL18 , 5H323LL23 , 5H323LL27 , 5H323NN03

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-098722
ランプアニール炉の温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-158495 出願人：光洋精工株式会社
特開平4-155818

全件表示

前のページに戻る