角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-339789
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339640
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】角速度を高精度に検出する。【解決手段】半導体支持基板34に絶縁膜33を介して半導体基板37を接合し、半導体基板37に基板主面と直角な方向の溝38を形成して固定部22、41、トラス24、質量32、弾性支持部25、27を設け、質量32の外周部に凹部39を形成し、凹部39のx軸方向の内壁に櫛歯電極30を配設し、半導体支持基板34に固定部41を固定し、固定部41に櫛歯電極31を配設し、質量32の重心から最遠点近傍付近に弾性支持部27を接続し、弾性支持部27の質量32とは反対側にトラス24を接続し、トラス24の側面に櫛歯電極29を配設し、固定部22に櫛歯電極28を配設し、トラス24の側面に弾性支持部25を接続し、固定部22に弾性支持部25のトラス24とは反対側を接続する。

請求項（抜粋）：

支持基板と、上記支持基板に固定された固定部と、上記固定部に弾性支持部を介して設けられた質量と、上記質量を振動する駆動手段と、上記質量の上記駆動手段による駆動方向と直角でかつ上記質量の面と平行な方向の変位を検出する検出手段とを有する角速度センサであって、上記質量の外周部に凹部を設け、上記検出手段として上記固定部に上記駆動方向を長さ方向として設けられた複数の第1の櫛歯電極と上記凹部内の上記質量部に上記駆動方向を長さ方向として設けられた複数の第2の櫛歯電極とを有するものを用いたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (8件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-207355 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
回転率センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-126095 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
慣性センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049519 出願人：株式会社東芝

全件表示

前のページに戻る