特許
J-GLOBAL ID：200903019038569463

周期性パターンのムラ検査方法及び装置

発明者：
西田 真史

西田 真史 について

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添田 正彦

添田 正彦 について

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岡沢 敦司

岡沢 敦司 について

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鎮守 卓哲

鎮守 卓哲 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102172
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292311
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 検査対象を撮像して得られる検査画像に多数の電気的ノイズが含まれている場合でも、周期性パターンの検査を正確に且つ迅速にできるようにする。【解決手段】 検査対象を撮像して得られる検査対象画像データ(A)、(B)からノイズ領域(ゴミによるノイズ、電気的ノイズ)を抽出してノイズ領域抽出画像データ(C)を作成し、該画像データに抽出されている各ノイズ領域の面積を測定し(D)、測定された面積が1画素のノイズを電気的ノイズと判定し(E)、判定された電気的ノイズを除外した残存ノイズ領域(ゴミによるノイズ)に対応する前記検査画像データ(A)を、該残存ノイズ領域の周囲の画素の代表値により置き換え、残存ノイズ領域除去画像データを作成し、該除去画像データに基づいて検査対象の不良を抽出する。
請求項（抜粋）：
検査対象を撮像して得られた検査対象画像データからノイズ領域を抽出してノイズ領域抽出画像データを作成するノイズ領域抽出過程と、前記ノイズ領域抽出画像データから電気的ノイズを除外して残存ノイズ領域画像データを作成する電気的ノイズ除外過程と、前記残存ノイズ領域画像データにおける残存ノイズ領域に対応する前記検査対象画像データを、該残存ノイズ領域の周囲の画素の代表値によって置き換え、残存ノイズ領域除去画像データを作成する残存ノイズ領域除去過程と、前記残存ノイズ領域除去画像データに基づいて検査対象の不良を抽出するパターン不良抽出過程と、を有することを特徴とする周期性パターンのムラ検査方法。
IPC (3件)：
G01M 11/00 ,  G01N 21/88 ,  H04N 7/18
FI (3件)：
G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 J ,  H04N 7/18 B
Fターム (22件)：
2G051AA56 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EC03 ,  2G051ED03 ,  2G051FA04 ,  2G086EE05 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  2G086FF05 ,  5C054AA01 ,  5C054FC00 ,  5C054FC01 ,  5C054FC05 ,  5C054FC12 ,  5C054FC15 ,  5C054HA05
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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