特許
J-GLOBAL ID：200903019861321949

ドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルム

発明者：
川口 親和

川口 親和 について

, 
米田 勇雄

米田 勇雄 について

, 
岩崎 裕司

岩崎 裕司 について


出願人/特許権者：
三菱化学ポリエステルフィルム株式会社

三菱化学ポリエステルフィルム株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-307004
公開番号（公開出願番号）：特開2005-077646
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 巻取り性に優れ、回路欠陥の発生をより確実に防止することができるとともに、解像度をより向上させることができるドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】 ドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルムは少くとも2層のポリエステル層から成り、感光性樹脂材料により成るフォトレジスト層及び保護フィルムが積層されてドライフィルムレジストを形成する。ドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルムは、長径が10μm以上の金属含有凝集体の個数が5個/10cm2以下であり、その少なくとも一方の最表層は平均粒子径が0.01〜3.0μmの粒子を含有し、表面の中心線平均粗さRaが0.002〜0.030μmであるとともに最大高さRtが0.05〜1.0μmである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも2層のポリエステル層から成るドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルムであって、少なくとも一方の最表層は、平均粒子径が0.01〜3.0μmの粒子を含有し、表面の中心線平均粗さRaが0.002〜0.030μmであるとともに最大高さRtが0.05〜1.0μmであり、ポリエステル層全体において、長径が10μm以上の金属含有凝集体の個数が5個/10cm2以下であることを特徴とするドライフィルムレジスト用積層ポリエステルフィルム。
IPC (2件)：
G03F7/09 ,  B32B27/36
FI (2件)：
G03F7/09 501 ,  B32B27/36
Fターム (30件)：
2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025DA40 ,  2H025FA17 ,  4F100AA20 ,  4F100AB22A ,  4F100AB22B ,  4F100AK41A ,  4F100AK41B ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100DE01A ,  4F100EH20 ,  4F100EJ38 ,  4F100GB43 ,  4F100JK15A ,  4F100JL00 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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