特許
J-GLOBAL ID:200903011131783296
積層フィルム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 純博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-399703
公開番号(公開出願番号):特開2003-191423
出願日: 2001年12月28日
公開日(公表日): 2003年07月08日
要約:
【要約】【課題】 高解像度DFRに使用し得る透明性、UV透過性と取扱い性(滑り性)を満足し、フォトレジスト層の上に保護フィルムを設ける工程を省略し、かつ産業廃棄物の軽減に寄与するドライフィルムフォトレジスト(DFR)、いわゆるカバーレスDFRに有用な積層フィルムを提供する。【解決手段】 ポリエステルを主要構成成分とするポリエステルフィルムの一方の表面に離型層を設けた積層フィルムであって、該積層フィルムの波長365nmの光線透過率が80%以上であることを特徴とする積層フィルム。
請求項(抜粋):
ポリエステルを主要構成成分とするポリエステルフィルムの一方の表面に離型層を設けた積層フィルムであって、該積層フィルムの波長365nmの光線透過率が80%以上であることを特徴とする積層フィルム。
IPC (9件):
B32B 27/36 ZAB
, B32B 27/00
, C08J 7/04
, C08K 3/36
, C08L 67/00
, G03F 7/004 512
, G03F 7/09 501
, G03F 7/11 503
, H05K 3/00
FI (9件):
B32B 27/36 ZAB
, B32B 27/00 L
, C08J 7/04 Z
, C08K 3/36
, C08L 67/00
, G03F 7/004 512
, G03F 7/09 501
, G03F 7/11 503
, H05K 3/00 F
Fターム (57件):
2H025AB11
, 2H025DA19
, 2H025DA20
, 2H025DA33
, 4F006AA35
, 4F006AB13
, 4F006AB19
, 4F006AB39
, 4F006BA11
, 4F006DA04
, 4F100AA20A
, 4F100AB01A
, 4F100AB22A
, 4F100AJ11B
, 4F100AK02B
, 4F100AK03B
, 4F100AK17B
, 4F100AK41A
, 4F100AK42
, 4F100AK52B
, 4F100AK62B
, 4F100AK66B
, 4F100AR00B
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100BA10D
, 4F100BA11A
, 4F100BA13
, 4F100DD07A
, 4F100DD07B
, 4F100DE01A
, 4F100DJ10A
, 4F100EH17
, 4F100EH46
, 4F100EJ38
, 4F100GB43
, 4F100JA20
, 4F100JK16
, 4F100JL05
, 4F100JL08A
, 4F100JL14B
, 4F100JN01
, 4F100JN08
, 4F100JN17C
, 4F100JN17D
, 4F100YY00
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
, 4J002CF001
, 4J002CF061
, 4J002DJ016
, 4J002FD016
, 4J002GF00
引用特許:
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