特許
J-GLOBAL ID：200903020449625320
チャンバクリーニング処理を制御するための方法及び処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-516472
公開番号（公開出願番号）：特表2008-503089
出願日： 2005年04月14日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
処理チャンバ内の発熱チャンバクリーニング処理を制御する方法及びシステムである。この方法は、システム部品から材料堆積物を除去するためにチャンバクリーニング処理においてクリーニングガスにシステム部品を晒すこと、チャンバクリーニング処理において少なくとも1つの温度関連システム部品パラメータをモニタリングすること、モニタリングによりシステム部品のクリーニング状態を決定すること、を含み、そして、決定された状態に基づいて、(a)晒すこと及びモニタリングの継続、(b)処理の停止、のうち一つを行う。
請求項（抜粋）：
発熱チャンバクリーニング処理の制御方法であって、
前記システム部品から材料堆積物を除去するために発熱チャンバクリーニング処理においてクリーニングガスにシステム部品を晒すこと、
前記チャンバクリーニング処理において少なくとも1つの温度関連システム部品パラメータをモニタリングすること、
前記モニタリングから前記システム部品のクリーニング状態を決定すること、を含み、
前記決定された状態に基づいて、
(a)前記晒すこと及び前記モニタリングの継続、(b)前記チャンバクリーニング処理の停止、のうち1つを行う、方法。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, C23C 16/44
, H01L 21/205
H01L21/302 101H
, C23C16/44 J
, H01L21/205
4K030DA06
, 4K030JA10
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 5F004AA15
, 5F004BA04
, 5F004BB18
, 5F004BB25
, 5F004BD04
, 5F004CB12
, 5F004DA00
, 5F004DA17
, 5F004DA20
, 5F004DA22
, 5F004DA23
, 5F004DA25
, 5F045AA03
, 5F045AA08
, 5F045AA15
, 5F045BB15
, 5F045DP03
, 5F045DQ10
, 5F045EB06
