特許
J-GLOBAL ID：200903020483886353
弾性表面波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131003
公開番号（公開出願番号）：特開2004-336503
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】優れたフィルタ特性を得ることができる弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】SAW伝搬方向において隣接する共振子10間に圧電基板20を除去することで形成した溝4を設ける。SAW伝搬方向に重なりを持つ共振子10間が物理的に分離(アイソレイト)されるため、一方の共振子10から発振した圧電基板20内部を伝搬するバルク波(接合界面での反射波を含む)が他方の共振子10へ入力することを防止でき、スプリアスの発生を抑えることができる。尚、溝4は、圧電基板20をダイシングブレード等を用いて切断することで形成されるため、その側面(圧電基板20の切断面)は粗面である。このため、溝4の側面に入射したバルク波は乱反射し、スプリアスを発生させる要因とならない。また、溝4は素子を個片化する際の圧電基板200の切断と同一の工程で切断する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
一主面上に2つ以上の共振子が形成された圧電基板と、前記圧電基板の他主面に接合された支持基板とを有する弾性表面波素子において、
少なくとも2つの前記共振子の励振部分が弾性表面波の伝搬方向における重なりを持ち、
前記重なりを持つ前記共振子の組のうち少なくとも1組の共振子間の少なくとも一部の圧電基板が除去又は改質されていることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H9/145
, H03H3/08
, H03H9/25
H03H9/145 C
, H03H3/08
, H03H9/25 C
5J097AA14
, 5J097BB15
, 5J097EE08
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097HA03
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097KK09
