特許
J-GLOBAL ID：200903020576311881

クリーンルームおよびその制御方法

発明者：
若林 隆之

若林 隆之 について

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渡辺 親一

渡辺 親一 について

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長須 正則

長須 正則 について


出願人/特許権者：
トレセンティテクノロジーズ株式会社

トレセンティテクノロジーズ株式会社 について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-312959
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083599
出願日： 2003年09月04日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 クリーンルーム内で走行する搬送台車の走行時における塵埃の巻き上げを防ぐ。【解決手段】 パーティション8の配置された領域を含むパーティション8で囲まれた領域の下部に、床材4Aの代わりに床材4Aより開口率の大きい床材4Cを配置することによって、RGV7の走行によって発生した気流が流れを遮られた時でも、床材4A、4Cから形成されたグレーチング床の下方へその気流が流れるのを妨げる抵抗を減少することができるので、その気流が上昇気流となってしまうことを抑止することができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
天井に複数の送風機構を有し、 床に複数の第1開口部を有し、 前記送風機構からの気流を前記第1開口部から前記床の下部へ排出するクリーンルームであって、 前記床は、搬送台車の走行する走行領域および走行周辺領域を含む第1領域と、平面で前記第1領域を取り囲む第2領域とを有し、 前記第1領域における前記床の下部へ排出する前記気流の流量または速度を、前記第2領域における前記床の下部へ排出する前記気流の流量または速度より大きくすることを特徴とするクリーンルーム。
IPC (2件)：
F24F7/06 ,  F24F11/04
FI (2件)：
F24F7/06 C ,  F24F11/04 F
Fターム (7件)：
3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF06 ,  3L058BF08 ,  3L058BG04 ,  3L061BE02 ,  3L061BF07
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (11件)
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