特許
J-GLOBAL ID：200903020978194890

光電変換装置用透明導電膜とその製造方法

発明者：
佐々木 敏明

佐々木 敏明 について

, 
小井 洋平

小井 洋平 について

, 
山本 憲治

山本 憲治 について


出願人/特許権者：
株式会社カネカ

株式会社カネカ について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-115576
公開番号（公開出願番号）：特開2007-288043
出願日： 2006年04月19日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】透明導電膜のウェットエッチングを行なわずかつその膜厚を増加させずに、表面凹凸が効果的に大きくされた光電変換装置用透明導電膜を提供する。【解決手段】光電変換装置用透明導電膜において、その透明導電膜が2次イオン質量分析で測定した原子濃度として2×1019個/cm3以上のB原子および2×1020個/cm3以上のH原子を含む酸化亜鉛からなり、かつB原子濃度/H原子濃度の比の値が透明導電膜の厚さ方向の所定位置において極小値を有するように変動させられていることを特徴としている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光電変換装置用透明導電膜であって、2次イオン質量分析で測定した原子濃度として2×1019個/cm3以上のB原子および2×1020個/cm3以上のH原子を含む酸化亜鉛からなり、かつB原子濃度/H原子濃度の比の値が前記透明導電膜の厚さ方向の所定位置において極小値を有するように変動させられていることを特徴とする光電変換装置用透明導電膜。
IPC (2件)：
H01L 31/04 ,  H01L 21/28
FI (3件)：
H01L31/04 M ,  H01L31/04 H ,  H01L21/28 301R
Fターム (26件)：
4M104BB36 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104DD43 ,  4M104GG05 ,  5F051AA03 ,  5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051CB12 ,  5F051CB13 ,  5F051CB27 ,  5F051CB29 ,  5F051DA04 ,  5F051DA16 ,  5F051DA18 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051FA13 ,  5F051FA19 ,  5F051FA21 ,  5F051FA24 ,  5F051FA30 ,  5F051GA03 ,  5F051GA06 ,  5F051GA16 ,  5F051KA09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (9件)
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