特許
J-GLOBAL ID：200903021116197904
研磨パッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴木 崇生
, 梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-311167
公開番号（公開出願番号）：特開2007-118106
出願日： 2005年10月26日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】成形時においてもCMP加工中においても、異種材料で構成されている透明窓材や研磨層の収縮や膨張による寸法変化の差による歪みを生じないような窓部を有する研磨パッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】ポリウレタン樹脂発泡体からなる研磨層14を備えており、終点検出用の窓部11を有し、窓部11は研磨層に形成された貫通孔22と透明窓材12にて形成されたものであり、研磨層14には窓部11の外側に歪み吸収用溝16が形成されている研磨パッド10とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ポリウレタン樹脂発泡体からなる研磨層を備えた研磨パッドであり、終点検出用の窓部を有し、前記窓部は前記研磨パッドに形成された貫通孔と透明窓材にて形成されたものであり、前記窓部の外側の前記研磨層には歪み吸収用溝が形成されていることを特徴とする窓部を有する研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304
B24B37/00 C
, B24B37/04 K
, H01L21/304 622F
, H01L21/304 622S
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058DA12
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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