積層型圧電素子の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：大場充 , 堀川美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-250938
公開番号（公開出願番号）：特開2007-067152
出願日： 2005年08月31日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

【課題】低酸素還元雰囲気中において低温で焼成しても高い圧電特性を得ることができる。【解決手段】圧電磁器組成物粒子を含む圧電体層前駆体と、導電粒子を含む内部電極層前駆体とが交互に積層された積層体を作製する工程と、積層体を焼成する工程と、を備え、圧電磁器組成物粒子が、式(1)で表される組成物に対して、鉛を酸化物に換算して0.01〜2質量%の範囲内で含有すると共に、亜鉛を酸化物に換算して2質量%以下の範囲内で含有し、(Pba-b Meb )[(Zn1/3 Nb2/3 )x Tiy Zrz ]O3 ...(1)(0.96≦a≦1.03、0≦b≦0.1、x+y+z=1、0.05≦x<0.125、0.275<y≦0.5、0.375<z≦0.6をそれぞれ満たす範囲内の値である。Meは、Sr、Ca及びBaの少なくとも1種、内部電極層前駆体が、卑金属粒子と、焼成により圧電体を構成する圧電体前駆化合物とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電磁器組成物粒子を含む圧電体層前駆体と、導電粒子を含む内部電極層前駆体とが交互に積層された積層体を作製する工程と、前記積層体を焼成する工程と、を備え、前記圧電磁器組成物粒子が、式(1)で表される組成物に対して、鉛(Pb)を酸化物(PbO)に換算して0.01〜2質量%の範囲内で含有すると共に、亜鉛(Zn)を酸化物(ZnO)に換算して2質量%以下(ただし、0を含まず)の範囲内で含有し、 (Pba-b Meb )[(Zn1/3 Nb2/3 )x Tiy Zrz ]O3 ...(1) (式(1)において、a、b、x、y、zは、0.96≦a≦1.03、0≦b≦0.1、x+y+z=1、0.05≦x<0.125、0.275<y≦0.5、0.375<z≦0.6をそれぞれ満たす範囲内の値である。Meは、ストロンチウム(Sr)、カルシウム(Ca)およびバリウム(Ba)からなる群のうちの少なくとも1種を表す。) 前記内部電極層前駆体が、卑金属粒子と、焼成により圧電体を構成する圧電体前駆化合物とを含むことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , H01L 41/187 , H01L 41/24 , H01L 41/22

FI (6件)：

H01L41/08 Q , C04B35/49 S , H01L41/18 101B , H01L41/18 101F , H01L41/22 A , H01L41/22 Z

Fターム (12件)：

4G031AA04 , 4G031AA05 , 4G031AA06 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA14 , 4G031AA26 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 4G031CA08 , 4G031GA10 , 4G031GA11

引用特許：

出願人引用 (4件)

積層型圧電体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-004475 出願人：株式会社デンソー
金属粉末及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-157341 出願人：昭栄化学工業株式会社
米国特許出願公開第2002/0079622号明細書

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審査官引用 (4件)

圧電磁器組成物、圧電素子および圧電素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-303155 出願人：TDK株式会社
積層型誘電体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-180167 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
積層一体焼成型の電気機械変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-376244 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所

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