無人搬送装置及び搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畑泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007779
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203421
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【課題】作業領域内にデッドスペースを生じる事なく、搬送効率を低下させない無人搬送装置及び搬送方法を提供することにある。【解決手段】搬送物を掴む事のできるロボットアームと、このロボットアームを支える支持台座と、この支持台座を回転可能に支持する回転スライド機構と、該支持台座と回転スライド機構を水平に移動可能なスライド機構とを備えた事を特徴とするので、搬送効率を低下させる事なく干渉物を避ける事が出来る。

請求項（抜粋）：

搬送物を掴む事のできるロボットアームと、このロボットアームを支える支持台座と、この支持台座を回転及びスライド可能に支持する回転スライド機構と、該回転スライド機構を載置して移動する基端部とを備え、前記回転スライド機構によって前記支持台座を水平方向に移動すると共に、支持台座を基端部に対して旋回できる事を特徴とする無人搬送装置。

IPC (5件)：

B61D 27/00 , B61B 13/00 , B61D 47/00 , B65G 1/00 501 , H01L 21/68

FI (5件)：

B61D 27/00 S , B61B 13/00 A , B61D 47/00 A , B65G 1/00 501 C , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (14件)

移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-108124 出願人：村田機械株式会社
プレス機械とロボツトによるワークのプレス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-238003 出願人：フアナツク株式会社
半導体ウエハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-267890 出願人：三菱電機株式会社

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