特許
J-GLOBAL ID：200903021403908129

液晶表示装置及びその製造方法

発明者：
青代 信

青代 信 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-003134
公開番号（公開出願番号）：特開2008-170667
出願日： 2007年01月11日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：
【課題】所望の液晶配向性を有する配向膜を効率良く成膜する。【解決手段】本発明は、基板11、21上に透明電極膜12、22を蒸着法で成膜した後、透明電極膜12、22表面に蒸着法によって配向膜を形成する。蒸着法で成膜された透明電極膜12、22は、表面粗さが4nm以上12nm以下と粗く、配向膜を成膜する時の成膜圧力が低く、かつ、蒸着角度θが25°以上45°以下と小さくても、プレチルト角が2°以上5°以下となる配向膜を成膜することができる。小さい蒸着角度θで配向膜を成膜すると、成膜速度が速いだけでなく、膜密度が高い配向膜が形成される。配向膜の膜密度が高いとバリア性に優れるので、液晶表示装置の寿命が長くなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板の表面上に配置された透明電極膜と、前記透明電極膜上に配置された配向膜と、前記配向膜表面に配置された液晶とを有し、 前記透明電極膜はインジウム錫酸化物を主成分とし、 前記配向膜は二酸化ケイ素を主成分とする液晶表示装置であって、 前記透明電極膜は、算術平均粗さが4nm以上12nm以下であって、第一の真空槽内部に前記基板を配置した状態で、前記第一の真空槽内部でインジウム錫酸化物を含む透明導電材料を溶融させて蒸気を放出し、前記透明導電材料の蒸気を前記基板の表面上に到達させて形成され、 前記配向膜は、第二の真空槽内部に、前記透明電極膜が形成された前記基板を配置した状態で、前記第二の真空槽内部で二酸化ケイ素を含む無機材料を溶融させて蒸気を放出し、前記無機材料の蒸気を前記透明電極膜表面に到達させて形成された液晶表示装置。
IPC (1件)：
G02F 1/133
FI (1件)：
G02F1/1337 515
Fターム (7件)：
2H090HA03 ,  2H090HB03Y ,  2H090HC01 ,  2H090HC18 ,  2H090KA04 ,  2H090MA04 ,  2H090MB06
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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