特許
J-GLOBAL ID:200903021544359439

画像検査方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-198027
公開番号(公開出願番号):特開2004-037399
出願日: 2002年07月05日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】撮影した画像にその性質上模様が現れるような被検物に対しても、不良要因の評価を厳密に行うことのできる画像処理方法および装置を提供する。【解決手段】被検物を撮像して得られる被検物画像に対して、被検物の模様と相似形の空間フィルタを用いて平滑化を行い、それにより、被検物画像中で被検物の模様のみの部分領域については輝度分布のピークが変化しないようにし、被検物の模様と不良要因が重なっている部分領域については輝度分布のピークが平均化により低減されるようにする。次に、平滑化前の被検物画像と、平滑化後の被検物画像の差分をとり、さらに二値化処理を行うことによって不良要因を抽出する。このように不良要因が抽出されたら、次に、抽出された不良要因を評価して被検物の良否判定を行う。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
被検物を撮像して得られる被検物画像に基づいて該被検物を検査するための方法であって、 前記被検物画像に含まれる前記被検物の模様の全部または一部と相似形の空間フィルタを用いて前記被検物画像について平滑化を行う平滑化ステップと、 前記平滑化前の被検物画像と前記平滑化後の被検物画像との差分をとり差分画像を得る差分ステップと、 前記差分ステップにより得られた差分画像に基づいて前記被検物画像に含まれる不良要因を抽出する不良要因抽出ステップと、 抽出された前記不良要因を評価して前記被検物の良否判定を行う判定ステップと、 を含むことを特徴とする画像検査方法。
IPC (5件):
G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T3/00 ,  G06T5/20
FI (5件):
G01N21/88 J ,  G01M11/00 L ,  G06T1/00 300 ,  G06T3/00 100 ,  G06T5/20 C
Fターム (33件):
2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051ED08 ,  2G051ED21 ,  2G086FF05 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD18 ,  5B057CE05 ,  5B057CE12 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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