角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232319
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042767
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】振動型の角速度センサにおいて、加振手段における振動の振幅を小さくしても、振動子における駆動振動の振幅が小さくならずに確保できるようにする。【解決手段】基部20に連結された振動子30、40と、対向する櫛歯間にて振動子30、40をx方向へ駆動振動させるために振動を発生させる櫛歯状の加振手段34、44と、角速度Ωが印加されたときにy方向への振動子30、40の振動に基づき角速度Ωを検出する櫛歯状の検出手段70、80とを備える角速度センサにおいて、各振動子30、40と加振手段34、44とを連結する梁であって、固定点である支点61と、振動子に接続された作用点62と、加振手段に接続された力点63とを備え、加振手段34、44の振動による力点63の変位を、作用点62では拡大して振動子30、40に伝える梁手段60を備える。

請求項（抜粋）：

基部(20)と、前記基部に連結された振動子(30、40)と、前記振動子側の部位とこれに対向する前記基部との間にて、前記振動子を第1の方向(x)へ駆動振動させるために振動を発生させる加振手段(34、44)と、前記振動子の駆動振動のもと角速度が印加されたときに前記第1の方向と直交する第2の方向(y)への前記振動子の振動に基づいて前記角速度を検出する検出手段(70、80)とを備える角速度センサにおいて、前記振動子と前記加振手段とを連結する梁であって、前記加振手段の振動による変位を、てこの原理によって拡大して前記振動子に伝える梁手段(60)を備えることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (18件)：

2F105BB02 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112BA08 , 4M112CA26 , 4M112CA33 , 4M112DA02 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-517158 出願人：ハーン-シッカート-ゲゼルシャフトフアアンゲワンテフォルシュンクアインゲトラーゲナーフェライン
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-024875 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-245725 出願人：アイシン精機株式会社

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