特許
J-GLOBAL ID：200903021876223891

ポジ型感光性組成物

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について

, 
佐藤 健一郎

佐藤 健一郎 について

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青合 利明

青合 利明 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-158698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347410
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度、密着性及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示すポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)水酸基で置換された脂肪族基を2つ以上含有する繰り返し構造単位を有し、かつ酸の作用により分解しアルカリ現像液中での樹脂の溶解度が増大するように作用する基を有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)水酸基で置換された脂肪族基を2つ以上含有する繰り返し構造単位を有し、かつ酸の作用により分解しアルカリ現像液中での樹脂の溶解度が増大するように作用する基を有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (16件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20
引用特許：
審査官引用 (6件)
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