特許
J-GLOBAL ID：200903021903578370
サ-ボ制御、およびリソグラフィ投影装置におけるその適用
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208412
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 リソグラフィ投影装置における振動関連の位置決めの誤差を減らすサーボ制御方法および装置を提供する。【解決手段】 ホトリソグラフィ装置において、ケーブル・スラブ16が圧搾空気、冷却剤および/または電源チャネルを、静止フレーム19からウェーハ・テーブル12に対して搬送する。ケーブル・スラブ16によって可動テーブル12上に加えられる力が、可動テーブル12とケーブル・スラブのためのマウンティング・ブラケット16との間に装着されている力センサ17によって測定される。制御信号が力センサ17によって出力された力信号から発生され、ケーブル・スラブ16によってウェーハ・テーブル上に加えられる力の効果に対抗するために、ウェーハ・テーブルを駆動する電気的なリニア・モータに対して加えられる。
請求項（抜粋）：
リソグラフィ投影装置であって、- 放射線の投射ビームを供給するための照射システムと、- マスクを保持するためのマスク・ホルダーが備えられていて、マスク・テーブル位置決め手段に対して連結されている可動マスク・テーブルと、- 基板テーブルを保持するための基板ホルダーが設けられていて、基板位置決め手段に対して連結されている可動ウェーハ・テーブルと、- 基板のターゲット部分上に前記マスクの照射された部分を像形成するための投影システムと、- 前記テーブルの外側のフレームに対して前記可動テーブルの少なくとも第1のテーブルを連結する可撓性のコンジット・キャリヤとを含んでいて、- 前記コンジット・キャリヤによって前記第1のテーブル上に加えられる力を測定し、そして前記の力を表す力信号を発生するための力センサと、- 前記力信号に応答して、制御信号を発生して、前記第1のテーブルに連結されている位置決め手段が前記テーブルに対して補正の力を印加するようにさせるモーション・コントローラとを特徴とする装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 503 F
, G03F 7/20 521
