特許
J-GLOBAL ID：200903099110371340
容量式加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-235983
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048813
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 容量式加速度センサにおいて、可動電極に発生する変位のオフセットを抑制し、検出精度を向上させる。【解決手段】 容量式加速度センサは、天地方向Yへ変位可能な可動電極1と、天地方向Yにおいて可動電極1を挟んで互いに反対側にて可動電極1に対向して配置された第1及び第2の固定電極2、3とを備え、加速度が印加されたときの可動電極1の天地方向Yへの変位に伴う第1の容量C1及び第2の容量C2の変化に基づいて印加加速度を検出する。ここで、可動電極1と第1の固定電極2との間に直流電圧Vを印加して、重力加速度と同等の静電引力FEを与えることにより、可動電極1における天地方向Yへの変位のオフセット分をキャンセルできるようになっている。
請求項（抜粋）：
所定方向へ変位可能な可動電極(1)と、前記所定方向において前記可動電極に対し互いに反対側にて対向して配置された第1及び第2の固定電極(2、3)とを備え、前記可動電極と前記第1の固定電極との間に第1の容量が形成され、前記可動電極と前記第2の固定電極との間に第2の容量が形成されており、加速度が印加されたときに前記可動電極が前記所定方向へ変位し、この可動電極の変位に伴う前記第1の容量及び前記第2の容量の変化に基づいて印加加速度を検出するようにした容量式加速度センサにおいて、前記可動電極と前記第1の固定電極との間及び前記可動電極と前記第2の固定電極との間の少なくとも一方に静電引力を発生させるための電気信号を印加することにより、前記可動電極における前記所定方向への変位のオフセット分をキャンセルできるようになっていることを特徴とする容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA23
, 4M112CA31
, 4M112CA36
, 4M112EA02
, 4M112FA03
