特許
J-GLOBAL ID：200903022091212128

研磨装置

発明者：
桑名 一孝

桑名 一孝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260847
公開番号（公開出願番号）：特開2006-075929
出願日： 2004年09月08日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】 ターンテーブルの回転中心と研磨ホイールの回転中心を結ぶ方向の長さを短縮することができる研磨装置を提供する。【解決手段】 被加工物着脱域と研磨域に沿って回転可能に配設されたターンテーブル7と、該ターンテーブル7に配設され順次研磨域に移動せしめられる被加工物保持面を備えた少なくとも2個のチャックテーブル8と、研磨域に位置付けられたチャックテーブル8の被加工物保持面上81に保持された被加工物82を研磨する環状の研磨砥石を備えた研磨ホイール5を有する1個の研磨手段とを具備する研磨装置であって、研磨ホイール5の環状の研磨砥石が研磨域に位置付けられたチャックテーブル8の回転中心P2を通過するように配置され、その際チャックテーブル8の回転中心P2と研磨ホイール5の回転中心P3を結ぶ線と、チャックテーブル8の回転中心92とターンテーブル7の回転中心P1を結ぶ線が所定の角度になるように構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被加工物着脱域と研磨域に沿って回転可能に配設されたターンテーブルと、該ターンテーブルに配設され順次研磨域に移動せしめられる被加工物保持面を備えた少なくとも2個のチャックテーブルと、該研磨域に位置付けられた該チャックテーブルの該被加工物保持面上に保持された被加工物を研磨する環状の研磨砥石を備えた研磨ホイールを有する1個の研磨手段と、を具備する研磨装置において、 該研磨ホイールの環状の研磨砥石が該研磨域に位置付けられた該チャックテーブルの回転中心を通過するように配置され、その際該チャックテーブルの回転中心と該研磨ホイールの回転中心を結ぶ線と、該チャックテーブルの回転中心と該ターンテーブルの回転中心を結ぶ線が所定の角度になるように構成されている、 ことを特徴とする研磨装置。
IPC (1件)：
B24B 7/04
FI (1件)：
B24B7/04 A
Fターム (5件)：
3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA15 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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