特許
J-GLOBAL ID：200903022255202102

基板処理装置

発明者：
盛満 和広

盛満 和広 について

, 
柴田 剛吏

柴田 剛吏 について

, 
松永 建久

松永 建久 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-061015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258063
出願日： 2002年03月06日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】複数の基板保持具を有し、基板保持具の交換機能を有する基板処理装置に於いて、基板保持具が簡単に倒れない様にし、基板保持具の破損を防止する。【解決手段】基板を処理する処理室と、該処理室で基板を保持する基板保持具13と、該基板保持具を載置する載置部12と、該載置部に対して相対回転可能に設けられ相対回転により前記基板保持具に係合解除可能なロック部材50と、該ロック部材と前記載置部とを相対回転させる回転部32とを具備する。
請求項（抜粋）：
基板を処理する処理室と、該処理室で基板を保持する基板保持具と、該基板保持具を載置する載置部と、該載置部に対して相対回転可能に設けられ相対回転により前記基板保持具に係合解除可能なロック部材と、該ロック部材と前記載置部とを相対回転させる回転部とを具備することを特徴とする基板処理装置。
Fターム (14件)：
5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA49 ,  5F031HA64 ,  5F031HA67 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA10 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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