銅配線基板向けアミン含有レジスト剥離液および剥離方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-024857
公開番号（公開出願番号）：特開2003-228179
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】銅を腐蝕することなくレジストを剥離できるレジスト剥離液及びその使用方法を提供すること。【解決手段】アミン含有レジスト剥離液であり溶存酸素量3ppm以下であるレジスト剥離液およびこれを使用する剥離方法。

請求項（抜粋）：

溶存酸素量が3ppm以下である、銅配線基板向けアミン含有レジスト剥離液。

IPC (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/30 572 B

Fターム (3件)：

2H096AA25 , 2H096LA03 , 5F046MA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

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