特許
J-GLOBAL ID：200903022279200933
形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小田 富士雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051946
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 微細な3次元形状を計測し得る形状計測装置を提供する。【解決手段】 触針1は触針姿勢調整部10、固定端である取付部11、水平部12、曲がり部13、鉛直部14、解放端である先端領域15、鉛直方向に先鋭化された先端部16を有する。走査装置2は、Xステージ21、Yステージ22、Zステージ23から構成され、主走査と副走査を行う。接触検知装置3は、対物レンズ31、対物レンズを交換するレボルバ32、ハロゲン光光源33、同軸落射照明鏡筒34、2次元CCDカメラを用いた撮像部35、および撮像部に接続された画像処理装置9からなる顕微鏡光学系により構成される。触針1は被測定物5に接触することにより、たわみを生ずる。接触検知装置3は、このたわみを検知することにより被測定物5の形状を計測する。
請求項（抜粋）：
水平部、曲がり部、鉛直部および先端部を備えた弾性を有する触針と、前記触針のたわみを検知する検知装置と、前記触針と被測定物との接触および離隔を行うための走査装置とを有することを特徴とする形状計測装置。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 5/20 101
, G01B 11/24
, G01B 21/30
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 G
, G01B 5/20 101 Z
, G01B 11/24 K
, G01B 21/30 Z
