特許
J-GLOBAL ID：200903022473557664

種結晶の固定方法及びその固定方法を用いた単結晶の製造方法

発明者：
則兼 哲也

則兼 哲也 について

, 
星河 浩介

星河 浩介 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-015713
公開番号（公開出願番号）：特開2005-247681
出願日： 2005年01月24日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】種結晶と種結晶を保持する黒鉛台座とを空隙のない金属炭化物層を用いて結合させることにより、成長単結晶中に伸長するマクロ欠陥の発生を抑制した炭化珪素単結晶を成長させるための種結晶の固定方法及びこれを用いた単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】種結晶(3)を黒鉛台座(1)に固定して種結晶(3)から単結晶を成長させるための種結晶の固定方法において、単結晶の成長温度以下の融点を持つ金属材料(2)を黒鉛台座(1)上に配置し、その金属材料(2)の上に種結晶(3)を配置し、さらにその種結晶(3)の上に加重を加えるための加圧部材(4)を配置した積層体(25)を形成し、積層体(25)を金属材料(2)の融点以上、かつ単結晶の成長温度以下の温度で加熱処理して黒鉛台座(1)と金属材料(11)と種結晶(3)を固定一体化し、積層体(25)を冷却し、積層体(25)から加圧部材(4)を取り除く。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
種結晶を黒鉛台座に固定して前記種結晶から炭化珪素単結晶を成長させるための種結晶の固定方法において、 前記単結晶の成長温度以下の融点を持つ金属材料を前記黒鉛台座上に配置し、その金属材料の上に前記種結晶を配置し、さらにその種結晶の上に加重を加えるための加圧部材を配置した積層体を形成し、 前記積層体を前記金属材料の融点以上、かつ前記単結晶の成長温度以下の温度で加熱処理して前記黒鉛台座と金属材料と種結晶を固定一体化し、 前記積層体を冷却し、 前記積層体から前記加圧部材を取り除くことを特徴とする種結晶の固定方法。
IPC (2件)：
C30B23/06 ,  C30B29/36
FI (2件)：
C30B23/06 ,  C30B29/36 A
Fターム (10件)：
4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077DA00 ,  4G077DA01 ,  4G077DA02 ,  4G077EG11 ,  4G077EG16 ,  4G077EG20 ,  4G077SA11 ,  4G077SA12
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 単結晶成長方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-277628   出願人：三洋電機株式会社
  • 単結晶の製造方法及び種結晶
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-103581   出願人：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー
審査官引用 (5件)
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